Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 45 van 183 gevonden artikelen
 
 
  Direct Al–Al contact using low temperature wafer bonding for integrating MEMS and CMOS devices
 
 
Titel: Direct Al–Al contact using low temperature wafer bonding for integrating MEMS and CMOS devices
Auteur: Lin, H.
Stevenson, J.T.M.
Gundlach, A.M.
Dunare, C.C.
Walton, A.J.
Verschenen in: Microelectronic engineering
Paginering: Jaargang 85 (2008) nr. 5-6 pagina's 3 p.
Jaar: 2008
Inhoud:
Uitgever: Elsevier B.V.
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 45 van 183 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland