Details van artikel 109 van 183 gevonden artikelen
Line edge roughness (LER) reduction strategy for SOI waveguides fabrication
Titel:
Line edge roughness (LER) reduction strategy for SOI waveguides fabrication
Auteur:
Sardo, Stefano Giacometti, Fabrizio Doneda, Sergio Colombo, Umberto Muri, Melissa Di Donghi, Anna Morson, Romano Mutinati, Giorgio Nottola, Alessandro Gentili, Massimo Ubaldi, Maria Chiara
Verschenen in:
Microelectronic engineering
Paginering:
Jaargang 85 (2008) nr. 5-6 pagina's 4 p.
Jaar:
2008
Inhoud:
Uitgever:
Elsevier B.V.
Bronbestand:
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
Details van artikel 109 van 183 gevonden artikelen