|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 185 van 187 gevonden artikelen
| Titel: |
Weight-scale, XRR and corona charge method on back-end dielectrics for 65 and 45nm technology nodes |
| Auteur: |
Fossati, D. Duru, R. Desmercières, S. Royer, J.-C. |
| Verschenen in: |
Microelectronic engineering |
| Paginering: | Jaargang 85 (2008) nr. 10 pagina's 2 p. |
| Jaar: |
2008 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 185 van 187 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |