|
Scaling potential of pin-type 3-D SBT ferroelectric capacitors integrated in 0.18μm CMOS technology |
|
|
|
Titel: |
Scaling potential of pin-type 3-D SBT ferroelectric capacitors integrated in 0.18μm CMOS technology |
Auteur: |
Goux, L. Maes, D. Lisoni, J.G. Vander Meeren, H. Paraschiv, V. Haspeslagh, L. Artoni, C. Russo, G. Zambrano, R. Wouters, D.J. |
Verschenen in: |
Microelectronic engineering |
Paginering: |
Jaargang 83 (2006) nr. 10 pagina's 5 p. |
Jaar: |
2006 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|