|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 36 gevonden artikelen
| Titel: |
Application of the ECR slot antenna plasma source for ion implantation |
| Auteur: |
Korzec, D. Raiko, V. Engemann, J. Günzel, R. Brutscher, J. Möller, W. |
| Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
| Paginering: | Jaargang 93 (1997) nr. 2-3 pagina's 8 p. |
| Jaar: |
1997 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science S.A. All rights reserved. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 36 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |