|
Effect of hydrogen flow on microtwins in 3C–SiC epitaxial films by laser chemical vapor deposition |
|
|
|
Titel: |
Effect of hydrogen flow on microtwins in 3C–SiC epitaxial films by laser chemical vapor deposition |
Auteur: |
Liu, Zhizhuang Xu, Qingfang Sun, Qingyun Li, Jun Tu, Rong Zhang, Song Yang, Meijun Li, Qizhong Deng, Zhao Zhang, Lianmeng Goto, Takashi Ohmori, Hitoshi Kosinova, Marina |
Verschenen in: |
Thin solid films |
Paginering: |
Jaargang 678 (2019) nr. C pagina's 8-15 |
Jaar: |
2019 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|