|
Ferroelectric and dielectric study of strontium tantalum based perovskite oxynitride films deposited by reactive rf magnetron sputtering |
|
|
|
Titel: |
Ferroelectric and dielectric study of strontium tantalum based perovskite oxynitride films deposited by reactive rf magnetron sputtering |
Auteur: |
Le Paven, C. Benzerga, R. Ferri, A. Fasquelle, D. Laur, V. Le Gendre, L. Marlec, F. Tessier, F. Cheviré, F. Desfeux, R. Saitzek, S. Castel, X. Sharaiha, A. |
Verschenen in: |
Materials research bulletin |
Paginering: |
Jaargang 96 (2017) nr. P2 pagina's 126-132 |
Jaar: |
2017 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|