|
Mechanism of gate dielectric degradation by hydrogen migration from the cathode interface |
|
|
|
Titel: |
Mechanism of gate dielectric degradation by hydrogen migration from the cathode interface |
Auteur: |
Higashi, Yusuke Takaishi, Riichiro Kato, Koichi Suzuki, Masamichi Nakasaki, Yasushi Tomita, Mitsuhiro Mitani, Yuichiro Matsumoto, Masuaki Ogura, Shohei Fukutani, Katsuyuki Yamabe, Kikuo |
Verschenen in: |
Microelectronics reliability |
Paginering: |
Jaargang 70 (2017) nr. C pagina's 10 p. |
Jaar: |
2017 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|