|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 7 van 43 gevonden artikelen
| Titel: |
A simple method for sub-100nm pattern generation with I-line double-patterning technique |
| Auteur: |
Tsai, Tzu-I Lin, Horng-Chih Jian, Min-Feng Huang, Tiao-Yuan Chao, Tien-Sheng |
| Verschenen in: |
Microelectronics reliability |
| Paginering: | Jaargang 50 (2010) nr. 5 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2010 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 7 van 43 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |