Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 23 van 41 gevonden artikelen
 
 
  Investigation of the influence of thermal treatment on interconnect-barrier interfaces in copper metallization systems
 
 
Titel: Investigation of the influence of thermal treatment on interconnect-barrier interfaces in copper metallization systems
Auteur: Aubel, Oliver
Bugiel, Eberhard
Krüger, Dietmar
Hasse, Wolfgang
Hommel, Martina
Verschenen in: Microelectronics reliability
Paginering: Jaargang 46 (2006) nr. 5-6 pagina's 6 p.
Jaar: 2006
Inhoud:
Uitgever: Elsevier Ltd
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 23 van 41 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland