|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 8 van 20 gevonden artikelen
| Titel: |
Investigation of stress in shallow trench isolation using UV micro-Raman spectroscopy |
| Auteur: |
Dombrowski, K.F. Dietrich, B. De Wolf, I. Rooyackers, R. Badenes, G. |
| Verschenen in: |
Microelectronics reliability |
| Paginering: | Jaargang 41 (2001) nr. 4 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2001 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 8 van 20 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |