|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 7 van 15 gevonden artikelen
| Titel: |
Characterization of the silicon nitride–thermal oxide interface in oxide–nitride–oxide structures by ELS, XPS, ellipsometry, and numerical simulation |
| Auteur: |
Gritsenko, V.A. Svitasheva, S.N. Petrenko, I.P. Novikov, Yu.N. Morokov, Yu.N. Wong, Hei Kwok, R.W.M. Chan, R.W.M. |
| Verschenen in: |
Microelectronics reliability |
| Paginering: | Jaargang 38 (1998) nr. 5 pagina's 7 p. |
| Jaar: |
1998 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 7 van 15 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |