|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 43 van 148 gevonden artikelen
| Titel: |
4719125 Cyclosilazane polymers as dielectric films in integrated circuit fabrication technology |
| Auteur: |
Anello, Louis Gupta, Satish Kirtley, StephenW Wooster, GeorgeS DePrenda, RalphL |
| Verschenen in: |
Microelectronics reliability |
| Paginering: | Jaargang 28 (1988) nr. 4 pagina's 1 p. |
| Jaar: |
1988 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 43 van 148 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |